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德國ERS 半自動熱拆鍵合MDM300/330

產(chǎn)品/服務(wù):
品 牌: ERS
有效期至: 長期有效
最后更新: 2025-02-15 16:26
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公司基本資料信息






  • 詳細說明
  • 規(guī)格參數(shù)
德國ERS 半自動熱拆鍵合MDM300/330
 
MDM300/330是專為研發(fā)實驗室和新技術(shù)試產(chǎn)期間的試生產(chǎn)線設(shè)計的 款半自動熱拆鍵合機。
ERS MDM300系統(tǒng)是 種用于半自動分離晶圓與載體(熱拆鍵合)的FOWLP技術(shù)。該機器通過釋放熱量將載體剝離。該系統(tǒng)可供,以保證熱拆鍵合后的晶圓質(zhì)量。
它提供半自動PLC控制,而且 多可存儲100多種配方。該機器具有較高的可重復(fù)操作性: 可以使用預(yù)設(shè)參數(shù)進行自動熱拆鍵合,然后手動脫膠, 后進入全自動翹曲矯正程序。
MDM300具有兩種操作模式:熱拆鍵合和翹曲調(diào)整以及獨立的翹曲矯正功能。
另外,我們還提供 些特殊的技術(shù)支持,例如在重新分布后,對易氧化的晶圓采用的無氧三溫滑動專利技術(shù)。
該工具專為研發(fā)實驗室和新技術(shù)試產(chǎn)期間的試生產(chǎn)線設(shè)計的。
 
 
 
 

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