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雷士超聲科技多頻率可控式超聲波清洗機

產(chǎn)品/服務(wù)：
品牌：	雷士超聲
有效期至：	長期有效
最后更新：	2025-07-31 12:59

單價：

8888.00元/ 臺

最小起訂量：

1 臺

供貨總量：

666 臺

立即詢價

(發(fā)貨期限：自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨)

公司基本資料信息

詳細說明
規(guī)格參數(shù)

半導體導體硅晶無損清洗雷士超聲科技多頻率可控式超聲波清洗機

類型超聲波冷凝槽

適用*域半導體、導體、硅晶、水晶玻璃、液晶屏

槽數(shù) 1

用途表面清潔處理

功能超聲波+加熱+液體循環(huán)+溢流+冷凝降溫

包裝工業(yè)纏繞薄膜

超聲清洗機 1臺

超聲發(fā)生器 1臺

內(nèi)槽尺寸 355×355×320 mm

槽體材質(zhì) 不銹鋼316

超聲功率 600W

超聲頻率 40KHz、80KHz、200KHz、270KHz 可切換

加熱調(diào)節(jié) 0~60℃

電器控制 PLC

概述

半導體行業(yè)的原材料大部分都由電子器件和硅片組成的，因為半導體外形比較復雜，孔內(nèi)小，利用超聲波清洗機的**率和高清潔度，得益于其聲波在介質(zhì)中傳播時產(chǎn)生的穿透性和空化沖擊疚，所以很容易將帶有復雜外形，內(nèi)腔和細空清洗干凈，在超聲波作用下只需兩三分鐘即可完成，其速度比傳統(tǒng)方法可提高幾倍，甚至幾十倍，清潔度也能達到高標準，提高了對半導體的生產(chǎn)效率，更突出顯示了用其他處理方法難以達到或不可取代的結(jié)果

LSA-MN12四頻率半導體超聲波清洗機，能有效去除硅片、晶片表面的有機物、顆粒、金屬雜質(zhì)及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。根據(jù)不同清洗工藝配置相應(yīng)的清洗單元，各部分有獨立控制，隨意組合，設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，凈化占地面積小，造型美觀、實用，操作符合人機工程原理。

2清洗方式

普通的清洗方法*般不能達到孔內(nèi),而孔內(nèi)芯料的反應(yīng)生成物及其他污染物會在后序工藝中會產(chǎn)生重復污染。無論是采用有機溶劑或是清洗液清洗都容易引入新的污染源,然而利用超聲波清洗技術(shù)卻可以實現(xiàn)無重復污染,而且能深入MCP孔內(nèi)的效果。對不同材料及孔徑的MCP應(yīng)采用頻率、聲強可調(diào)的超聲波進行實驗,以確定實際工藝參數(shù)。對孔徑6~12μmMCP的清洗,當媒液為水和乙醇時,可采用空化閾約1/3 W/cm2,聲強10~20 W/cm2,頻率20~120 kHz的超聲波進行清洗。表1是同*段不同板號的MCP采用不同頻率超聲波清洗后表觀及電性能測試結(jié)果。由檢測結(jié)果可見,對1μm以下的小顆粒污染物,應(yīng)選用頻率40 kHz以上的超聲波進行清洗。

3清洗溫度

在硅片的清洗過程中，清洗液的溫度是*個關(guān)鍵因素。合適的清洗溫度能夠加快油污的去除，得到非常好的清洗效果。當硅片浸到清洗液中，硅片上的油污產(chǎn)生膨脹，油污內(nèi)部以及油污與硅片之間的作用力減弱，溫度越高，油污膨脹越大，這種作用力就越弱，表面活性劑分子越容易將油污撬離硅片表面。同時，溫度的變化可導致膠束本身性質(zhì)和被增溶物在膠束中溶解情況發(fā)生變化。只有溫度接近表面活性劑溶液的濁點溫度時，增溶能力*強，因而清洗液的溫度設(shè)定在60℃。