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美國ACM RESEARCH 背面清洗設(shè)備

產(chǎn)品/服務(wù):
品 牌: ACM RESEARCH
有效期至: 長期有效
最后更新: 2025-02-15 16:26
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公司基本資料信息






  • 詳細(xì)說明
  • 規(guī)格參數(shù)
 美國ACM RESEARCH  背面清洗設(shè)備
主要優(yōu)勢
由伯努利夾盤對晶圓背面進(jìn)行全面保護(hù)
藥液回收功能可降低成本
可集成氮?dú)舛黧w清洗功能
可靈活應(yīng)用于濕法刻蝕工藝,如硅蝕刻及薄膜蝕刻工藝
進(jìn)的噴嘴掃描系統(tǒng)
精密的濕法刻蝕均勻度控制
精密的化學(xué)藥液供給
可靈活應(yīng)用于多種襯底材料,包括重?fù)诫s片、Bonding 片、超薄片等
特征規(guī)格
多可配至8套清洗腔體
配備晶圓翻轉(zhuǎn)單元
多可配至5種藥液進(jìn)行清洗工藝或者濕法刻蝕工藝, RCA 藥液, 氫氟酸,氫氟酸/硝酸混合液, 配方藥液等
伯努利夾盤可對晶片背面全面保護(hù)
多可回收2種化學(xué)藥液
 
 
 
 
 
 

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