產(chǎn)品/服務(wù): | |
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品 牌: | 中圖儀器 |
有效期至: | 長期有效 |
最后更新: | 2024-12-09 22:28 |
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VT6000系列共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等*域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米*別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
1、高精度、高重復(fù)性
1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),儀器測量精度高;
2)儀器的隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲,在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測量重復(fù)性。
2、*體化操作的測量分析軟件
1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實現(xiàn)了快速批量測量的功能;
2)可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;
3)結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;
4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5)*鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品*鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;
6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。
3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。
4、雙重防撞保護(hù)措施
除出擊的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),*大限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險。
中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能;提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。4)其中粗糙度分析包括依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
品牌: | 中圖儀器 |
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